IVC-22

講演情報

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Parallel Sessions

Non-Evaporable Getter Coating

[Wed-D1] Non-Evaporable Getter Coating

2022年9月14日(水) 14:00 〜 16:00 Room D (Mid-sized Hall B)

15:45 〜 16:00

[Wed-D1-7] Integration of Zr-V getter films in MEMS packaging

Sylvain Lemettre1, Clément Bessouet1, Charlotte Kutyla1, *Alain Bosseboeuf1, Philippe Coste1, Thierry Sauvage2, Hélène Lecoq2, Olivier Wendling2, Aurélien Bellamy2, Johan Moulin1 (1. C2N Nanored (France)、2. CEMHTI (France))

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