IVC-22

講演情報

Parallel Sessions

Thin Film

[Wed-G1] Thin Film

2022年9月14日(水) 14:00 〜 16:00 Room G (Small Hall)

14:00 〜 14:15

[Wed-G1-1] Influence of sputtering gas species on electrical resistivity of Au and Pt thin films

*Fumito Hayasaka1, Midori Kawamura1, Takayuki Kiba1, Yoshio Abe Abe1 (1. Kitami Institute of Technology (Japan))

キーワード:sputtering deposition, mass difference, resistivity, Au, Kr

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