IVC-22

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Poster Session

Poster Session (12:30-14:00)

[Wed-PO1E] Poster Session (12:30-14:00) Category E

2022年9月14日(水) 12:30 〜 14:00 Poster E (Main Hall)

[Wed-PO1E-5] moved to online session
A new type of standard leak elements fabricated by femtosecond laser micromachining and its applications

*Che-Kai Chan1, Chin-Chun Chang1, I-Chen Yang1, Chih-Wei Luo2, Ching-Shiang Hwang1,2 (1. National Synchrotron Radiation Research Center (Taiwan), 2. National Yang Ming Chiao Tung University (Taiwan))

キーワード：standard leak element, conductance, femtosecond laser micromachining, molecular flow

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