一般社団法人日本鉱物科学会2019年年会・総会

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R7: 岩石・鉱物・鉱床一般 (資源地質学会共催セッション)

2019年9月21日(土) 09:30 〜 17:00 A-プレゼンスペース (イースト1号館)

09:30 〜 17:00

[R7P-06] 岩石微細組織観察に於けるEPMA定量イメージング技術の活用

*吉田 健太1 (1. JAMSTEC)

キーワード:EPMA定量イメージング

EPMAを用いた岩石の組織観察では後方散乱電子像(BSE像)が広く用いられるが,BSEの励起範囲は一般的に特性X線のそれより遥かに小さく,強度は正相関するとされている.BSE強度を用いて定量的なイメージングが出来るようになると

①従来のイメージング空間分解能(3~5μm)の限界を突破した微細構造の定量的解析

②FIB-SEMと組み合わせた三次元定量イメージング
が出来るようになることが期待される.本研究では,EPMA定量イメージングで得られる膨大な量の定量分析値を用いて,BSE像から高分解能定量イメージングを行う技術の開発と応用例を紹介する.