表面活性化手法による6インチAlN基板とSi基板の常温接合

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一般演題

講演セッション » マイクロメカトロニクス実装技術

Tue. Mar 3, 2020 10:30 AM - 12:00 PM C会場 (A棟A105)

座長:多喜川良

10:30 AM - 10:45 AM

〇松前貴司¹、倉島優一¹、西薗和則²、天野力²、高木秀樹¹ (1. 産業技術総合研究所、2. 株式会社MARUWA)

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