第34回エレクトロニクス実装学会春季講演大会

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一般演題

講演セッション » マイクロメカトロニクス実装技術

マイクロメカトロニクス実装技術(1)

Tue. Mar 3, 2020 10:30 AM - 12:00 PM C会場 (A棟A105)

座長:多喜川 良

10:45 AM - 11:00 AM

[3C1-02] 薄いZr薄膜を用いた原子拡散接合法によるウエハ室温接合

〇魚本 幸1、島津 武仁1,2 (1. 東北大学 学際科学フロンティア研究所、2. 東北大学 電気通信研究所)

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