薄いTi薄膜を用いた原子拡散接合法における成膜後の真空中保持時間と接合強度

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一般演題

講演セッション » マイクロメカトロニクス実装技術

Tue. Mar 3, 2020 10:30 AM - 12:00 PM C会場 (A棟A105)

座長:多喜川良

11:00 AM - 11:15 AM

〇網野泰知郎¹、魚本幸¹、島津武仁^1,2 (1. 東北大学学際科学フロンティア研究所、2. 東北大学電気通信研究所)

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