光回路実装技術(1)

[5A3-03] 曲面マイクロミラーを用いたシリコンフォトニクスの広帯域垂直光I/O

〇乗木 暁博^1,2、玉井 功²、指宿 康弘²、浮田 明生²、須田 悟史^1,2、志村 大輔²、太縄 陽介²、八重樫 浩樹²、天野 建^1,2 (1. 国立研究開発法人 産業技術総合研究所、2. 技術研究組合光電子融合基盤技術研究所)