Schedule 1 2:45 PM - 3:00 PM [5A4-02] コパッケージングへ向けたシリコンフォトニクス内蔵基板の検討 〇竹村 浩一1、小倉 一郎1、乗木 暁博1,2、青木 剛1、志村 大輔1、天野 建1,2 (1. 光電子融合基盤技術研究所、2. 産業技術総合研究所) Abstract password authentication.Password is required to view the abstract. Please enter a password to authenticate. Password Authentication