第35回エレクトロニクス実装学会春季講演大会

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一般演題

講演セッション » マイクロメカトロニクス実装技術

マイクロメカトロニクス実装技術(3)

Fri. Mar 19, 2021 11:15 AM - 12:00 PM A (A)

座長:多喜川 良

11:45 AM - 12:00 PM

[19A3-03] 極薄MEMSセンサ実装技術に関する研究

〇中川 潤哉1、高松 誠一1、伊藤 寿浩1、ジメルカ マリア1、山下 崇博2、牧本 なつみ2、小林 健2 (1. 東京大学、2. 産業技術総合研究所)

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