[G] Spintronic / Nanomagnetic Materials/New Area

[138] 冷却装置不要の自然冷却式マグネトロンスパッタガンの開発

*Harumoto Takashi¹, Shi Ji¹, Nakamura Yoshio¹ (1. 東工大物質理工)

Keywords:スパッタ、薄膜、マグネトロン、磁石

チラーなどの冷却装置を必要としない新型の自然冷却式マグネトロンスパッタガンを開発し、その実用可能性の調査、及び、作製した薄膜の評価を行った。