[G] スピントロニクス・ナノ磁性材料・新領域

[138] 冷却装置不要の自然冷却式マグネトロンスパッタガンの開発

*春本 高志¹、史 蹟¹、中村 吉男¹ (1. 東工大物質理工)

キーワード：スパッタ、薄膜、マグネトロン、磁石

チラーなどの冷却装置を必要としない新型の自然冷却式マグネトロンスパッタガンを開発し、その実用可能性の調査、及び、作製した薄膜の評価を行った。