[G] Semiconductors & Functional Materials

[163] フレキシブル2Dセンサーを用いる金属表面のテラヘルツ非破壊検査

*TANABE Tadao¹, LI Kou³, KAWANO Yukio², OYAMA Yutaka¹ (1. 東北大院工、2. 東工大未来研、3. 東工大未来研（院生）)

Keywords:テラヘルツ、半導体デバイス、非破壊検査、社会インフラ、カーボンナノチューブ

テラヘルツ発振器と2次元にアレイ化したカーボンナノチューブテラヘルツ検出素子を組み合わせた反射光学系を構築し、金属表面の損傷や液滴に対する非破壊検査を実証した。