[G] 半導体・機能性材料

[163] フレキシブル2Dセンサーを用いる金属表面のテラヘルツ非破壊検査

*田邉 匡生¹、李 恒³、河野 行雄²、小山 裕¹ (1. 東北大院工、2. 東工大未来研、3. 東工大未来研（院生）)

キーワード：テラヘルツ、半導体デバイス、非破壊検査、社会インフラ、カーボンナノチューブ

テラヘルツ発振器と2次元にアレイ化したカーボンナノチューブテラヘルツ検出素子を組み合わせた反射光学系を構築し、金属表面の損傷や液滴に対する非破壊検査を実証した。