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[170] 逆抵抗変化型Cr2Ge2Te6相変化材料のメモリ特性
キーワード:相変化メモリ、アモルファス、Cr-Ge-Te
Cr2Ge2Te6(CrGT)は多くの相変化材料と異なり、高抵抗の結晶相と低抵抗のアモルファス相とを有する新材料である。本研究では、CrGTを用いてメモリセルを作製し、その動作特性を調査した。
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