高アスペクト比Pd基金属ガラス回折格子の作製における金属ガラスリボンの前処理の検討

2:00 PM - 2:15 PM

[344] 高アスペクト比Pd基金属ガラス回折格子の作製における金属ガラスリボンの前処理の検討

*DATEKYU Masanari^1,3, YASHIRO Wataru², KATO Hidemi³ (1. 東北大工、2. 東北大多元研、3. 東北大金研)

Keywords:金属ガラス、抵抗加熱インプリント加工、平坦化処理

本発表では，最大アスペクト比を得るため，金属ガラスリボンの前処理に観点を置き，最大アスペクト比を有するPd基金属ガラス回折格子に作製を行った．

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