[G] Microstructure Observations and Analyses

[37] 明視野回折コントラストおよび二値化処理による規則析出相の電子線トモグラフィー観察の試み

*HATA Satoshi¹, SAKAI Hirotaka², KOIKE Suguru², SAITO Hikaru³ (1. 九大総理工・URC、2. 九大総理工（院生）、3. 九大総理工)

Keywords:電子顕微鏡、電子線トモグラフィー、三次元観察、規則格子、電子回折

局所的に湾曲した薄膜試料における合金規則析出粒子の三次元組織観察を、三波励起明視野STEMと二値化処理を組み合わせた手法で実施し、通常の二波励起暗視野法よりも広視野かつ寸法再現性に期待の持てる結果を得た。