[G] High Temperature Oxidation and Corrosion(2)

[375] 酸素ポンプ・センサを用いたSiC高温酸化挙動の解析

*FUKUMOTO Michihisa¹, Kato Kimiyasu², Hara Motoi¹ (1. 秋田大院　理工、2. 秋田大院　理工(院生))

Keywords:高温酸化、SiC、酸素ポンプ・センサ、酸化速度

SiCの高温酸化挙動を酸素ポンプ・センサーを用いて調査した。その結果，昇温過程においてSiO₂の変態に伴う酸化速度の変化を観察することができた。また，SiO₂の揮発を観察することができた。