[G] 組織・観察・分析

[40] Au-Silica複合ナノ粒子の３次元元素マップ

*田辺 栄司¹、西嶋 雅彦²、周 淑君³ (1. 広島県総研西部工技セ、2. 東北大先端電子顕微鏡セ、3. 広島大工)

キーワード：トモグラフィー、STEM-EDS、ナノ粒子、触媒

サイズ約100nmのAu-Silicaナノ粒子複合体の連続傾斜STEM-EDS元素マップを11°間隔で計13枚撮影し，ISER法で再構成した結果，分解能約10nmのSi-K及びAu-Mの三次元元素マップが得られた。