[G] 気相プロセス・薄膜･厚膜作製技術・表界面反応･分析

[415] プラズマ・ガス凝縮法で作製したＦｅ－Ｃｏ－Ｐｔ複合ナノ粒子の磁気的性質

*近藤 佑亮¹、日原 岳彦²、宮崎 怜雄奈² (1. 名工大工（院生）、2. 名工大工)

キーワード：気相合成、スパッタリング法、ナノ粒子、ナノコンポジット磁石、熱処理

Fe－Co－Pt系の複合堆積膜をプラズマ・ガス凝縮法で作製しナノコンポジット磁石の作製を試みた。Ｆｅ－Ｐｔ系と比べ低い温度で規則化が促進され、また高い磁気特性が得られたことからＣｏの添加は有用だとわかった。