[G] Dry Process, Thin- and Thick-Film Production, Surface and Interface Reaction, Surface Analysis

[420] 双極子プラズマ窒化装置を用いたSUS304鋼における窒化層の形成

*Maeda Kenta¹, Nakayama Yoshihiro², Saruwatari Naohiro², Sugita Yoshio³, Sekiya Eiji³ (1. 山梨大学 (院生)、2. 山梨大学、3. ワイエス電子工業株式会社)

Keywords:SUS304、S相、プラズマ窒化処理

独自に開発した双極子プラズマ窒化装置を用いたSUS304鋼に対する窒化処理条件の最適化を目的とし、窒化処理温度などのパラメータが窒化層の形成に及ぼす影響について検討を行った。