[G] 気相プロセス・薄膜･厚膜作製技術・表界面反応･分析

[420] 双極子プラズマ窒化装置を用いたSUS304鋼における窒化層の形成

*前田 健太¹、中山 栄浩²、猿渡 直浩²、杉田 良雄³、関谷 英治³ (1. 山梨大学 (院生)、2. 山梨大学、3. ワイエス電子工業株式会社)

キーワード：SUS304、S相、プラズマ窒化処理

独自に開発した双極子プラズマ窒化装置を用いたSUS304鋼に対する窒化処理条件の最適化を目的とし、窒化処理温度などのパラメータが窒化層の形成に及ぼす影響について検討を行った。