2:10 PM - 2:25 PM
[48] フォトン照射による電子励起反応を用いたRuシリサイドの形成
Keywords:シンクロトロン光光電子分光、ルテニウム、シリサイド、電子励起
HOPG基板上に作製したSiOx/Ru/SiOx構造へ500、560 eVのシンクロトロン光を照射し、光電子分光によってRuシリサイド形成の有無を評価した。O1s内殻電子の励起がRuシリサイド形成に寄与していることが示唆された。
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