[P] 5.材料化学

[P114] 直流プラズマ窒化とDLCコーティングの複合処理におけるエッジ効果の影響

*Matsui Takuto¹, Nishimoto Akio² (1. 関西大理工（院生）、2. 関西大化学生命工（教授）)

Keywords:ダイヤモンドライクカーボン、窒化、表面改質

本研究では、オーステナイト系ステンレス鋼に種々の条件で直流プラズマ窒化を行った後にプラズマCVD法を用いたDLCコーティング処理を行い、前処理の窒化がDLC膜の摩擦摩耗特性におよぼす影響を調査した。