[P] 5.材料化学

[P115] 鉄鋼材料に成膜した多層DLC膜の機械的特性の比較調査

*KOBAYASHI Yukio¹, NISHIMOTO Akio² (1. 関西大理工（院生）、2. 関西大化学生命工（教授）)

Keywords:プラズマCVD法、DLC、多層構造、炭素鋼、軸受鋼

Siを含有したDLCとDLCが交互になるように積層回数を変えて多層DLC膜を成膜した炭素鋼および軸受鋼に対して摩擦摩耗特性や密着性などの機械的特性の比較調査を行った。