[P] 6.材料プロセシング

[P149] Cr-Si合金を用いたSiC溶液成長時の結晶中窒素濃度

*HACHINODA SHOGO¹, KAWANISHI SAKIKO², SHIBATA HIROYUKI² (1. 東北大院生、2. 東北大多元研)

Keywords:SiC、結晶成長、溶液成長、窒素濃度

SiCの溶液成長に一般的に用いられる溶媒系であるCr-Si合金を用いた際のSiC結晶中の窒素濃度を調査し、溶媒組成および成長温度の影響を評価した。