[P] 9.電気・磁気関連材料

[P20] Mo中間層を導入したNd-Fe-B/Mo/α-Fe積層薄膜の微細構造解析

*KOGA Shu¹, ITAKURA Masaru², NISHIDA Minoru², AKAMINE Hiroshi², MURAKAMI Yasukazu³, KOIKE Kunihiro⁴, KATOU Hiroaki⁴ (1. 九大（院生）、2. 九大総理工、3. 九大工、4. 山形大理工)

Keywords:ハード磁性材料、ナノコンポジット薄膜磁石、走査型透過電子顕微鏡、エネルギー分散型X線分光器

超高真空スパッタ法により作製したMgO/Mo/[Nd-Fe-B/Mo/α-Fe/Mo]₅/Mo積層薄膜試料を球面収差補正機能付き走査型透過電子顕微鏡を用いて解析した結果の報告