[P] 9.電気・磁気関連材料

[P25] Si基板に成膜したFe-Pt系厚膜磁石の諸特性

*SHIMODA Keito¹, TAKASHIMA Keisuke², YAMASHITA Akihiro², YANAI Takeshi², NAKANO Masaki², FUKUNAGA Hirotoshi² (1. 長崎大工(院生)、2. 長崎大工)

Keywords:Fe-Pt系厚膜磁石、PLD法、Si基板

本研究では将来的なFe-Pt系厚膜磁石の医療用MEMSへの応用を鑑み，PLD法を用いてSi基板上に数μm厚以上のFe-Pt系厚膜磁石を成膜し，更には熱処理した際の磁気特性や機械的性質等の評価・観察を行った。