[P] 9.電気・磁気関連材料

[P26] Si-O系粒子を含むFe-Co系磁性膜の開発

*Fujita Kazuhiro¹, Yamashita Akihiro², Yanai Takeshi², Nakano Masaki², Fukunaga Hirotoshi² (1. 長崎大工（院生）、2. 長崎大)

Keywords:PLD法、Fe-Co、Si-O系粒子

駆動周波数の増加を利用した電気機器の小型化を鑑み、スパッタリング法による高周波帯域用軟磁性薄膜の作製が報告されている。ここでは，PLD法を用いたSi-O系粒子を含むFe-Co系磁性膜の作製を検討したので報告する。