[P] 9.電気・磁気関連材料

[P28] Nd-Fe-B系厚膜磁石のMEMS応用に向けたSi基板の薄手化に関する検討

*YAMAGUCHI Takashi¹, TAKASHIMA Keisuke², YAMASHITA Akihiro², YANAI Takeshi², NAKANO Masaki², FUKUNAGA Hirotoshi² (1. 長崎大工(院生)、2. 長崎大)

Keywords:PLD法、Nd-Fe-B、Si基板

Nd-Fe-B系磁石膜のMEMS応用を鑑み、Si基板上への作製が報告される中，本研究ではより薄手のSi基板への成膜を鑑み，PLD法を用いてガラス下地層挿入ならびに磁石膜の作製を検討した。