[P] 9.電気・磁気関連材料

[P37] ZnO薄膜への遷移金属の添加による光学的・電気的特性の改善

*KOIDE Takumi¹, Yamane Haruki², Kobayashi Masanobu¹ (1. 千葉工業大学、2. 秋田産業技術センター)

Keywords:ZnO、Ti、V

ITOの代替材料として注目されているZnOをベースに遷移金属を添加した際の光学的・電気的性質の変化を検討している。