[P] 3.組織

[P43] PVD法によって作製した純Feの摩擦係数に及ぼす化学吸着膜の影響

*MATSUO YASUTAKA¹, YOSHIKAZU TODAKA², NOZOMU ADACHI², ITOU SHUN¹, HINO MASAHIRO³, MITSUHARA MASATOSHI⁴, NISHIDA MINOMU⁴, OBA YOJIRO⁵ (1. 豊橋技科大工（院生）、2. 豊橋技科大工、3. 京大、4. 九大、5. 原研)

Keywords:PVD膜、強ひずみ加工、組織制御、摩擦係数制御、Stribeck曲線

優れた表面粗さを有し，膜厚を変化させることで結晶粒径（格子欠陥）の制御が容易に行うことが可能なPVD法により作製した純Fe膜の格子欠陥に伴う化学吸着膜がμに及ぼす影響の調査を行った．