10:40 AM - 10:55 AM
[S3.34] 種々の層厚さを有するNi-Co-Cu/Cu多層膜の圧縮変形
Keywords:多層膜、キンク変形、電気めっき
Ni-Co-Cu/Cu多層膜を銅基板上に成膜し,圧縮変形を与えた.多層膜に生じる局所変形の厚さは,多層膜の層厚さの増加とともに増加した.
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