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[S4.5] マグネトロンスパッタ法で作製したMgH2-xの微細組織及び水素放出挙動
キーワード：水素化Mg、マグネトロンスパッタ法、TEM、昇温脱離
マグネトロンスパッタ法により水素化Mg薄膜を作製し、電子線回折像等の解析により結晶構造を同定した。さらに、昇温脱離法により得られた水素放出挙動と微細組織の対応関係について調査した。
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