[S5] S5 先進ナノ構造解析に基づく材料科学の新展開II(3)

[S5.38] [基調講演] 透明酸化物半導体BaSnO₃ – SrSnO₃の電子輸送 ―エピタキシャル薄膜と薄膜トランジスタ―

*太田 裕道¹ (1. 北大電子研)

キーワード：透明酸化物半導体、BaSnO₃-SrSnO₃、熱電能

本講演では、電子ドープBaSnO₃-SrSnO₃薄膜の、熱電能計測によるキャリア有効質量の決定、低移動度の原因と高移動度化、そして高移動度深紫外透明酸化物半導体の実現を目指した取り組みについて紹介する。