2019 Fall Annual(165th) Meeting

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Koubo Symposium

[S5] S5 New Aspect of Materials Science Based on Advanced Nanostructure Analyses(3)

Fri. Sep 13, 2019 9:15 AM - 11:45 AM Q (RoomNo.1 at 1st Flr. Faculty of Engineering, Build.No.1)

座長:太田 裕道(北海道大学)、松永 克志(名古屋大学)

10:35 AM - 11:15 AM

[S5.38] [基調講演] 透明酸化物半導体BaSnO3 – SrSnO3の電子輸送 ―エピタキシャル薄膜と薄膜トランジスタ―

*Ohta Hiromichi1 (1. 北大電子研)

Keywords:透明酸化物半導体、BaSnO3-SrSnO3、熱電能

本講演では、電子ドープBaSnO3-SrSnO3薄膜の、熱電能計測によるキャリア有効質量の決定、低移動度の原因と高移動度化、そして高移動度深紫外透明酸化物半導体の実現を目指した取り組みについて紹介する。

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