[P] P39~P40

[P40] Optical electrical characteristic improvement by the addition of the metallic element to ZnO film and the film thickness change

*Takumi KOIDE¹, Yuuri Yamasita², Haruki Yamane⁴, Masanobu Kobayashi³ (1. Chiba Institute of Technology, 2. Chiba Institute of Technology, 3. Chiba Institute of Technology, 4. Akita industry technology center)

Keywords:ZnO、透明酸化物半導体、透明電極

本研究ではITOの代替材料として注目されているZnOをベースに、遷移金属を添加、及び試料の膜厚変化による光学的・電気的性質の変化を検討することを目的とした。