[P] P39~P40

[P40] ZnO薄膜への金属元素の添加、及び膜厚変化による光学的・電気的特性の改善

*小出 拓史¹、山下 悠利²、山根 治起⁴、小林 政信³ (1. 千葉工大（院生）、2. 千葉工大（学生）、3. 千葉工大（教授）、4. 秋田産業技術センター)

キーワード：ZnO、透明酸化物半導体、透明電極

本研究ではITOの代替材料として注目されているZnOをベースに、遷移金属を添加、及び試料の膜厚変化による光学的・電気的性質の変化を検討することを目的とした。