[P] P107~P108

[P107] Effect of ZnO protective layer on magnetic properties of CoPt thin films

*Yuki SAWAHATA¹, Tomoyuki Sugimura¹, Haruki Yamane², Masanobu Kobayashi³ (1. 千葉工大(院生)、2. 秋田産技セ、3. 千葉工大)

Keywords:CoPt多層膜、酸素欠損ZnO、磁気特性、光学特性

CoPt磁性多層膜において、酸素欠損ZnOを下地層及び保護層に用いたCoPt/酸素欠損ZnO多層膜を作製し、保護層の有無、酸素欠損ZnO保護層成膜時の投入ガス変化(Arガス、Ar+5%O2ガス)による磁気特性の変化を比較した。