[P128] SiCポリタイプのその場判別に向けたバンドギャップの温度特性評価
キーワード:SiC、バンドギャップ、光吸収特性、温度特性、その場観察
SiCには積層構造の異なるポリタイプがいくつか存在する。これらのポリタイプの光吸収特性の違いに注目し、その場観察でのポリタイプの判別を目指す。本講演では光吸収特性の温度依存性の評価結果について述べる。
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