[P] P131~P135

[P134] Deformation Evaluation of Cu Substrate Grains near Buckled Multilayered Films after Compression

*Tomohiro KUBOMAE¹, Yoshihisa KANEKO², Makoto UCHIDA² (1. 大阪市大工（院生）、2. 大阪市大工)

Keywords:多層膜、座屈、ミルフィーユ構造、結晶、EBSD

金属ナノ多層膜めっきを行った銅基板に圧縮変形を与え，局所変形の発生を調査した．多層膜断面の観察の結果，座屈変形が確認でき，さらにEBSD解析により，多層膜近傍の基板結晶では格子回転が示唆された．