[P134] 圧縮座屈した多層膜近傍の銅基板結晶の変形評価
キーワード：多層膜、座屈、ミルフィーユ構造、結晶、EBSD
金属ナノ多層膜めっきを行った銅基板に圧縮変形を与え，局所変形の発生を調査した．多層膜断面の観察の結果，座屈変形が確認でき，さらにEBSD解析により，多層膜近傍の基板結晶では格子回転が示唆された．
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