[P] P109~P113

[P110] Effect of Nd-Fe-B deposition temperature on perpendicular magnetic anisotropy of 3D-seeded Nd-Fe-B thin films

*Kohei FURUSAWA¹, Kunihiro KOIKE¹, Hiroaki KATO¹, Nobuyuki INABA¹, Shu KOGA², Masaru ITAKURA², Yu SAITO³, Susum OKUBO³, Hitoshi OHTA³ (1. Yamagata Univ., 2. Kyushu Univ., 3. Kobe Univ.)

Keywords:Nd₂Fe₁₄B薄膜、3Dシード、保磁力、ポストアニール、垂直磁気異方性

3Dシードを導入したNd-Fe-B層の堆積温度の上昇は，ポストアニールで結晶化するNd₂Fe₁₄B結晶粒のc軸垂直配向を促進し，垂直磁気異方性を増大することが明らかとなった．