[P] P54~P58

[P55] 開孔状態を変化させたTiスクリーンを用いたプラズマ窒化で形成されるTiN堆積物コーティング

*今村 晃大¹、西本 明生¹ (1. 関西大理工（院生）)

キーワード：窒化処理、表面改質処理、TiNコーティング、アクティブスクリーンプラズマ窒化、Tiスクリーン

窒化処理の一種であるアクティブスクリーンプラズマ窒化処理法は、試料を絶縁しその周りに設置したスクリーンからの堆積物により窒化を進行させる。本研究ではTiスクリーンを用いることで表面にTiNを形成させた。