[P] P59~P61

[P60] 共振式疲労試験機を用いたNiマイクロメッキ接合の長期信頼性

*YU Xinguang¹、堂免 凌太²、森迫 勇²、小柴 佳子²、飯塚 智徳²、巽 宏平² (1. 早大情シス（院生）、2. 早大情シス)

キーワード：SiC、NMPB、インターコネクション、共振式疲労試験、長期信頼性

共振式疲労試験機を用いて試験を行い、NMPBと鉛フリーハンダ接合を比較し、疲労評価時間の加速とNMPBの長期信頼性が確保されているか検討を行った。結果として、NMPBの疲労限はハンダ接合より高いことがわかった。