[S2] New Materials Science On Nanoscale Structures and Functions of Crystal Defect Cores, I(1)

[S2.3] Fabrication and Operating Mechanism of Deep UV Transparent Semiconducting
SrSnO3 based Thin Film Transistor

*Lizhikun Gong¹, Mian Wei¹, Dou-dou Liang^2,3, Hai　Jun Cho³, Hiromichi Ohta³ (1. IST, Hokkaido Univ., 2. USTB, 3. RIES, Hokkaido Univ.)

Keywords:酸化物半導体、薄膜トランジスタ

本研究では、SrSnO3薄膜を活性層とした薄膜トランジスタ（TFT）を作製し、その動作機構を熱電能電界変調法によって調べた。