[S2] New Materials Science On Nanoscale Structures and Functions of Crystal Defect Cores, I(1)

[S2.5] Examination of Fabrication Methods for in-situ TEM Mechanical Testing

*Minjian CAO¹, Eita TOCHIGI^1,2, Takaaki SATO³, Naoya SHIBATA^1,4, Hiroyuki FUJITA⁵, Yuichi IKUHARA^1,4,6 (1. Tokyo Univ., 2. PRESTO, 3. Pennsylvania Univ., 4. JFCC, 5. Tokyo City Univ., 6. Kyoto Univ. ESISM)

Keywords:その場、TEM、MEMS、その場観察、欠陥

MEMSデバイスを利用したその場機械試験システムを開発し，本MEMSデバイスを用いたその場TEM機械試験に供するための試験片作製方法を検討した．