[G] Electric/Electronic/Optical Materials

[13] Friction induced crystal growth of 2D layered semiconductor MoS₂

*Junya Osaki¹, Tadao Tanabe³, Yutaka Oyama² (1. 東北大工（院生）、2. 東北大工、3. 芝浦工大)

Keywords:MoS₂、二次元材料、遷移金属ダイカルコゲナイド、MoDTC

本研究は自動車エンジンオイル等で応用されているトライボケミカル反応によるMoS₂の成膜反応を半導体薄膜の成膜法として応用することを目的とし、基板上に製膜したMoS₂の構造評価を行う。