日本金属学会2020年秋期(第167回)講演大会

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一般講演

9.Electric/Electronic/Optical Materials » Electric/Electronic/Optical Materials

[G] Electric/Electronic/Optical Materials

Fri. Sep 18, 2020 1:00 PM - 4:55 PM Rm. E (ZoomRm.E)

Chair:Hidekazu Tanaka(Osaka University), Fumitaro Ishikawa(Ehime University) Sub Chairman (assistant):

4:40 PM - 4:55 PM

[13] Friction induced crystal growth of 2D layered semiconductor MoS2

*Junya Osaki1, Tadao Tanabe3, Yutaka Oyama2 (1. 東北大工(院生)、2. 東北大工、3. 芝浦工大)

Keywords:MoS2、二次元材料、遷移金属ダイカルコゲナイド、MoDTC

本研究は自動車エンジンオイル等で応用されているトライボケミカル反応によるMoS2の成膜反応を半導体薄膜の成膜法として応用することを目的とし、基板上に製膜したMoS2の構造評価を行う。

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