[G] 分析・解析・評価

[41] [奨励賞受賞講演]HAADF-STEM法による蛍光体中ドーパント原子の空間分布解析

*齊藤 元貴¹、坂口 紀史¹ (1. 北大工)

キーワード：電子顕微鏡、HAADF、STEM、ドーパント

フォーカスを変化させながらHAADF-STEM像を撮影し、セラミックス材料中のドーパントの3次元分布の解析を試みた。収束角、入射方位等の影響を調査した。